Wervelbed-CVD-oven

Wervelbed-CVD-oven - TOB-1200-LTS-FB

Productoverzicht en ideale toepassingen

De TOB-1200-LTS-FB is een wervelbed-CVD-oven die is gebouwd voor experimenten met poederoppervlaktedepositie. Een buis van hoogzuiver kwarts bevat een poreuze kwartsplaat in het onderste gedeelte; het poeder rust op die plaat, gas wordt vanaf de onderkant van de buis toegevoerd, en de opwaartse stroming door de plaat tilt de deeltjes op zodat ze in de verwarmde zone zweven terwijl de depositie plaatsvindt.

De oven bereikt 1200 °C in minder dan 1 uur en behoudt continu 1150 °C, met een verwarmingszone van 200 mm en een zone met constante temperatuur van 100 mm. De buis is verkrijgbaar in Φ25 mm of Φ50 mm met een lengte van 600 mm, en de poreuze plaat wordt gemaakt met de poriegrootte die uw poeder nodig heeft. Een dubbelwandige behuizing met luchtkoeling, een opdeelbare ovenbehuizing voor buisvervangingen, een kwartsbuisbeschermer en een mechanische overdrukklep zijn allemaal standaard.

Ideaal voor:

• CVD-depositie op poeders die afzonderlijk moeten worden gezweefd in plaats van verpakt in een bed
• Coatingexperimenten waarbij gas gelijkmatig door de gehele dwarsdoorsnede van de buis moet stromen
• Poederladingen gedimensioneerd voor een buis van Φ25 mm of Φ50 mm met een lengte van 600 mm
• Processen die een piektemperatuur van 1200 °C met ±1 °C regeling en een receptenbibliotheek met 15 programma's vereisen
• Niet voor: corrosieve of zure procesgassen (schade hierdoor is uitgesloten van garantie), of poeders waarvan de deeltjesgrootte niet kan worden gewerveld door de beschikbare gassnelheid

Stuur ons uw poedertype, deeltjesgrootte en doelcoating, en wij bevestigen de buisdiameter en specificatie van de poreuze plaat voor uw proces.

Waar wervelbed-CVD past in onderzoek naar poedercoating

In een gepakt bed raken de deeltjes elkaar en zoekt het gas de weg van de minste weerstand, waardoor de laagdikte van deeltje tot deeltje varieert. Een wervelbed neemt dat probleem weg door de deeltjes op te tillen in een opwaartse gasstroom, zodat elk deeltje over zijn gehele oppervlak wordt blootgesteld aan de precursor. De volgorde in deze oven is:

1. Het poeder wordt op de poreuze kwartsplaat in de kwartsbuis geladen, en de buis wordt gesloten met de roestvrijstalen flensconstructie.
2. Procesgas wordt aan het onderste uiteinde van de buis ingevoerd en stroomt omhoog door de poreuze plaat, die de stroming over de gehele dwarsdoorsnede van de buis verdeelt.
3. Boven de ophefsnelheid verlaten de deeltjes de plaat en vormen ze een zwevend bed in de verwarmingszone van 200 mm, waar de precursor op hun oppervlak ontbindt.
4. Het gecoate poeder wordt na afkoeling teruggewonnen door de bovenste flens te openen. De buisbeschermer en de mechanische overdrukklep blijven gedurende de gehele run op hun plaats.

Omdat de poriegrootte van de plaat zowel de drukval als de gelijkmatigheid van de gasverdeling bepaalt, is dit de belangrijkste specificatie die het resultaat verandert. Poriegroottes van 4-550 μm zijn verkrijgbaar, en de plaat wordt op maat gemaakt.

Belangrijkste technische kenmerken van de TOB-1200-LTS-FB

• Speciaal gebouwd voor poederdepositie: de poreuze kwartsplaat en de onderste gasinlaat zijn er zodat deeltjes in de verwarmde zone zweven, en er niet alleen in worden geplaatst.
• Dubbelwandige behuizing met luchtkoeling: de buitenwand blijft koeler dan een enkelwandige oven met dezelfde kamertemperatuur.
• Opdeelbare, te openen ovenbehuizing: de behuizing opent zodat de kwartsbuis kan worden vervangen zonder de oven te demonteren.
• Kwartsbuisbeschermer: een schild rond de buis voorkomt letsel als het kwarts breekt onder vacuüm of thermische schok.
• Mechanische veiligheidsoverdrukklep: beschermt tegen overdruk als de poreuze kwartsfilterplaat geblokkeerd raakt.
• Alumina kamer met hoogwaardige temperatuurcoating: isolatie van hoogzuivere aluminavezels met een uit de VS geïmporteerde alumina-temperatuurcoating op het kameroppervlak, voor een hogere verwarmingsefficiëntie en een langere levensduur van de kamer.
• HRE-legering verwarmingselementen: 1200 °C bereikbaar in minder dan 1 uur, 1150 °C continu, ±1 °C nauwkeurigheid op een K-type thermokoppel.
• Roestvrijstalen afdichtingsconstructie: dubbele siliconen O-ring flensconstructie als standaard, met optionele pompsets tot 5 × 10⁻¹ Pa (mechanisch) of 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Volledige specificaties

1. Ovenbehuizing en thermische specificaties

2. Kwartsbuis en poreuze plaat

3. Vacuüm- en afdichtingssysteem

4. Afmetingen, gewicht en garantie

5. Verbruiksartikelen en uitsluitingen van garantie

Besturingssysteem

De controller werkt op een ingebed besturingssysteem met een 7-inch true-color touchscreen. Vier functies zijn van belang voor herhaalbaar poeder-CVD-werk:

De onderstaande screenshots volgen de volgorde van de rijen hierboven: de opgeslagen curvebibliotheek, de curve-editor, de omschakelbare interface, niet-lineaire correctie, geplande start en de twee beveiligingsalarmen.

De regelaar slaat 15 temperatuurcurves op, zodat een recept niet voor elke run opnieuw hoeft te worden ingevoerd.

Scherm voor instelling van temperatuurcurves.

Het ingebedde besturingssysteem schakelt tussen Chinees en Engels op het 7-inch true-colour touchscreen.

Niet-lineaire monstertemperatuurcorrectie, gebruikt om de weergegeven temperatuur in overeenstemming te brengen met de gemeten monstertemperatuur.

Geplande start, een optionele functie, voor runs die op een ingesteld tijdstip moeten beginnen.

Overtemperatuuralarm zone 1.

Overtemperatuur zone 1 met indicatie van thermokoppelbreuk.

Praktische operationele aanbevelingen

• Bestel de poreuze plaat samen met het poeder, niet pas achteraf: poriegrootte bepaalt zowel het drukkenverschil over de plaat als hoe gelijkmatig het gas wordt verdeeld, dus het beslist of het bed zal fluidiseren bij de stroming die u kunt leveren.
• Plan de verblijftijd onder het continue vermogen: 1200 °C is de bereikbare piek, 1150 °C is de continue temperatuur. Langdurig aanhouden hoort bij of onder 1150 °C te liggen.
• Houd de oploopsnelheid op of onder 20 °C/min: dat is de maximale verwarmingssnelheid waarvoor de oven is gespecificeerd, en het beperkt ook de thermische schok op de kwartsbuis.
• Verwijder nooit de buisbescherming of de overdrukklep: de bescherming bevat kwarts als de buis faalt, en de mechanische overdrukklep opent als de poreuze plaat verstopt raakt en de druk oploopt.
• Controleer de gascompatibiliteit vóór de run: schade door corrosieve en zure gassen is uitgesloten van de garantie, dus bevestig dat het procesgas acceptabel is vóór de eerste warmtecyclus.
• Sla de verbruiksartikelen op voorraad in: het verwarmingselement, het thermokoppel en de monsterkroes zijn verbruiksartikelen en zijn niet inbegrepen, dus bestel reserveonderdelen samen met de oven in plaats van na een storing.
• Gebruik de 15 opgeslagen curven als uw receptbibliotheek: één curve per proces houdt dezelfde coatingrun reproduceerbaar tussen verschillende operators.

Technische Veelgestelde Vragen

V1. Welke buis moet ik kiezen, Φ25mm of Φ50mm?

A. Beide worden aangeboden met een lengte van 600 mm. De grotere buis bevat meer poeder per run en geeft een lagere gassnelheid bij dezelfde volumetrische stroming; de kleinere buis bereikt de stijgsnelheid met minder gas. Kies op basis van het poedervolume dat u per experiment nodig heeft en de gasstroom die u kunt leveren.

V2. Welke poriegrootte moet de poreuze kwartsplaat hebben?

A. Poriegroottes van 4-550 μm zijn beschikbaar en de plaat wordt op maat gemaakt. De poriegrootte moet klein genoeg zijn om het poeder in rust te houden en open genoeg om het procesgas door te laten bij een werkbaar drukverschil, dus deze wordt samen met het poeder gespecificeerd in plaats van apart.

V3. Hoe heet wordt hij, en hoe snel verwarmt hij?

A. 1200 °C is bereikbaar in minder dan 1 uur. De continue temperatuur is 1150 °C, de temperatuurnauwkeurigheid is ±1 °C op een K-type thermokoppel en de maximale verwarmingssnelheid is ≤20 °C/min.

V4. Welk vacuümniveau kan worden bereikt?

A. Met een optionele mechanische pompenset bereikt het systeem 5 × 10⁻¹ Pa; met een optionele turbopompenset bereikt het 5 × 10⁻³ Pa. De standaardlevering is de roestvrijstalen afdichtingsflensmontage met dubbele silicone O-ringen.

V5. Wat gebeurt er als de poreuze plaat verstopt raakt?

A. Er is een mechanische veiligheidsoverdrukklep gemonteerd als onderdeel van de standaard afdichtingsmontage, zodat de druk die is opgebouwd door een geblokkeerde kwartsfilterplaat wordt ontlast in plaats van ingesloten. Een kwartsbuisbescherming is ook standaard, zodat een buisfalen de operator niet blootstelt.

V6. Kan ik zure of corrosieve procesgassen gebruiken?

A. Schade veroorzaakt door corrosieve gassen en zure gassen wordt niet gedekt door de garantie, dus elk zuur of corrosief procesgas moet met ons worden besproken voordat de oven ermee wordt gebruikt.

V7. Wat dekt de garantie en wat is niet inbegrepen?

A. Eén jaar garantie met levenslange technische ondersteuning. Verbruiksartikelen — het verwarmingselement, het thermokoppel, de monsterkroes en vergelijkbare items — zijn niet inbegrepen, en schade door corrosieve of zure gassen is uitgesloten.

V8. Wat is de footprint en het gewicht?

A. 510mm × 430mm × 1000mm, met een nettogewicht van ongeveer 35KG. De oven staat verticaal, dus de buisas is verticaal en het gas komt binnen vanuit de onderkant.

Vertel ons het poeder, de deeltjesgrootte en de coating die u nastreeft. Wij komen bij u terug met de buisdiameter, de poriegrootte van de poreuze plaat en de pompenset die bij de run passen.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

Beoordeeld door: Pinery Gong, Battery Assembly & Yield Process ｜ Laatst bijgewerkt: 19-10-2026

Misschien heeft u ook nodig

• 1700°C Buisoven voor Materialen O&O - hetzelfde buisovenformaat met een veel hogere temperatuurgrens, voor processen die meer nodig hebben dan de 1200 °C die deze oven bereikt.

• 1200℃ Drie-Zone Buisoven voor Batterijmaterialen - dezelfde 1200 °C-klasse met drie onafhankelijk geregelde zones, wanneer het proces een langere of vlakkere hete zone nodig heeft dan de enkele zone van 200 mm hier.

• 1200℃ Hoge-temperatuur atmosfeeroven- een kameroven voor atmosferisch werk waarvoor geen verticale buis en wervelbed nodig zijn.