Dual-zone pecvd-systeem van het type 1200 ℃

model-

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

macht

3kw

3kw

4kw

4kw

oven buismaat (mm)

dia 60 (od) x 1800 mm

dia 80 (od) x 1800 mm

dia 100 (od) x 1800 mm

dia 120 (od) x 1800 mm

dimensie

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

voedingsspanning

220v

fase nummer

eenfasige

bedieningsmodus

yudische temperatuurregeling

30 secties kunnen alleen pid-temperatuurregeling gebruiken.

fp93 temperatuurregeling (uit japan)

(vervang geïmporteerde instrumenten, voor een extra vergoeding)

1,40 sectie programma temperatuurregeling kan worden verdeeld in 4,2,1 groepsprogramma, als het programma is verdeeld in vier groepen, elk programmasegment 10,

2,6-groep pid-regeling, lage, gemiddelde en hoge temperatuur kan elk met een set pid, zodat elk segment in staat is de temperatuur te regelen zeer nauwkeurig is.

temperatuurregeling modus

intelligente pid

burn-out bescherming en display

Ja

bescherming tegen te hoge temperaturen

Ja

overstroombeveiliging

Ja

controle nauwkeurigheid

+/- 1 ℃

op gang brengen

faseverschuiving trigger

scr

106 / 16e Duitsland Simon Kang

de maximale temperatuur van de 1.2 temperatuurzone

1200 ℃

de 1.2 temperatuurzone

nominale temperatuur

1150 ℃

verwarmingssnelheid

≤30 ℃ / min (beschikbaar op aanvraag wijziging)

aanbevolen verwarmingssnelheid

≤15 ℃ / min

thermokoppel type

k type

de verwarmingslengte van de 1,2 temperatuurzone

205mm

omliggende oppervlaktetemperatuur

≤45 ℃

plasma rf vermogen

vermogensbereik

0-500w

maximaal gereflecteerd vermogen

10w

signaal frequentie

13.56 mhz ± 0.005%

lawaai

<30 db

luchtafkoeling

koeling methode

ingangsvermogen

208-240v 50 / 60Hz

gx supply systeem belangrijkste parameters

standaard bereik

proton flow controller 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(u kunt elke schaal kiezen)

nauwkeurigheid

± 1,5%

drukval

& Lt; 0.01mpa

herhaalbaarheid

± 0,2% f.s

max

bedrijfsdruk

3MP

vs-0.1 uitlaatsysteem

stroomvoorziening

220v / 380v 380w

pompsnelheid

2l / s

weerstand vacuümmeter

ZDR-i

vacuüm meetbereik

0,1-10 5 pa

vacuum pomp

VRD-8

gegolfde buis

kf25x1000mm

vacuüm systeem

10 -1pa